Запропоновано математичну модель переносу маси для моделювання процесу атомізації на базі методу нульового градієнта та дельта-функції Дірака. З використанням розробленої моделі показано, що основною причиною нелінійності статичної характеристики атомно-десорбційного спектрометра є нестабільність оптичних параметрів вимірювальної системи. Створено структурну модель вимірювального вузла з вертикальним електротермічним атомізатором, що дало змогу поліпшити стабільність оптичних параметрів вимірювальної системи та на 60 % зменшити похибку вимірювання атомно-абсорбційних спектрофотометрів. Лінеаризовано статичну характеристику такого спектрометра завдяки використанню вертикального капілярного електротермічного атомізатора та логарифмування вихідного сигналу вимірювальної системи, що дозволило значною мірою розширити діапазон вимірювання та збільшити до 70-ти кількість елементів. Наведено модифікований атомно-абсорбційний метод з використанням капілярного електротермічного атомізатора, на основі якого уніфіковано основні параметри вимірювальної схеми, вдвічі збільшено чутливість перетворення та збільшено вірогідність контролю до значення 0,94.

  Скачати повний текст

Вперше розроблено теоретичну модель дифракції з урахуванням динамічних ефектів когерентного та дифузного розсіяння в гетерогенних епітаксійних, а також іонно-імплантованих кристалічних структурах. Надана модель самоузгоджено враховує для кожного шару наявність в інтенсивності дифракції динамічної дифузної компоненти, а також екстинкцію когерентної компоненти за рахунок дифузного розсіяння. Вперше враховано особливості динамічної взаємодії між шарами, що зведена до відповідних рекурентних співвідношень між когерентними складовими коефіцієнтів відбиття окремих шарів. В цій моделі враховано інтерференцію когерентних хвиль, що розсіюються різними шарами та підкладкою в багатошарових епітаксійних структурах. У разі врахування амплітуди розсіяння кожним неоднорідним шаром модель передбачає його розбиття на однорідні підшари. Вперше здійснено повну адекватну кількісну пошарову характеризацію вказаних гетероструктур з одержанням нової інформації про характеристики дефектів, ефекти сегрегації та взаємодифузії, а також уточнити хімічний склад, товщини окремих шарів, профілі деформації.

  Скачати повний текст