Вперше розроблено теоретичну модель дифракції з урахуванням динамічних ефектів когерентного та дифузного розсіяння в гетерогенних епітаксійних, а також іонно-імплантованих кристалічних структурах. Надана модель самоузгоджено враховує для кожного шару наявність в інтенсивності дифракції динамічної дифузної компоненти, а також екстинкцію когерентної компоненти за рахунок дифузного розсіяння. Вперше враховано особливості динамічної взаємодії між шарами, що зведена до відповідних рекурентних співвідношень між когерентними складовими коефіцієнтів відбиття окремих шарів. В цій моделі враховано інтерференцію когерентних хвиль, що розсіюються різними шарами та підкладкою в багатошарових епітаксійних структурах. У разі врахування амплітуди розсіяння кожним неоднорідним шаром модель передбачає його розбиття на однорідні підшари. Вперше здійснено повну адекватну кількісну пошарову характеризацію вказаних гетероструктур з одержанням нової інформації про характеристики дефектів, ефекти сегрегації та взаємодифузії, а також уточнити хімічний склад, товщини окремих шарів, профілі деформації.

  Скачати повний текст

Запропоновано модель дислокаційної петлі, яка складається з окремих сегментів 60-градусних дислокацій. Встановлено, що внесок кожного сегмента у формування топографічного зображення дислокаційної петлі не є адитивним. Досліджено специфічні ефекти каналювання X-хвиль у випадку особливого "стирчкового" положення крайової дислокації в палатці Бормана. Виявлено особливості формування товщинних осциляцій інтенсивності - поблизу лінії дислокації виникає просторове квазіперіодичне хвильове поле з макроперіодом у декілька екстинкційних відстаней. Досліджено вплив комбінованого поля деформацій від дислокацій та макроскопічних пружних деформацій на просторові розподіли інтенсивності в палатці Бормана. Визначено, що найбільші трансформації товщиних розподілів інтенсивності та секційних картин відбуваються у випадку X-променевого акустичного резонансу. Встановлено, що еквідистантний згин пригнічує ефекти каналювання та збільшує області прояву кінематичного зображення дислокації. Проведено співставлення топографічних X-хвильових зображень дислокацій та їх комплексів (дислокаційних скупчень та меж) на підставі числових розв'язків рівнянь Такагі та рівнянь Інденбома-Чамрова.

  Скачати повний текст