З використанням методів рентгеноспектрального мікроаналізу, растрової та трансмісійної електронної мікроскопії, електронографії, рентгенографічного аналізу та математичного моделювання встановлено закономірності структуроутворення в одержаних за методами лазерного й електронно-променевого випаровування вакуумних конденсатах оксидів металів III та IV груп та їх бінарних композицій. Досліджено вплив температури осадження на поліморфізм індивідуальних оксидів у вакуумних конденсатах і встановлено температурні межі існування їх поліморфних модифікацій. Визначено вплив температури осадження та величини радіусу тризарядного катіону на стабілізацію флюоритних структур у вакуумних конденсатах. Визначено температурно-концентраційні межі утворення твердих розчинів структурних типів та їх термічну стабільність. Визначено вплив параметрів осадження на утворення метастабільних фаз і твердих розчинів. Оптимізовано умови синтезу у вакуумних оксидних конденсатах складних сполук високотемпературної структури за випаровування механічної суміші вихідних компонентів. Зіставлено закономірності структуроутворення в конденсатах, одержаних електропроменевим і лазерним випаровуванням. Висвітлено вплив швидкості осадження на зміну механізму конденсації. Показано переваги лазерного методу випаровування щодо створення покриттів з заданими властивостями. Запропоновано модель структуроутворення у вакуумних оксидних конденсатах та суттєво розвинуто уявлення про структурні зони в них.

  Скачати повний текст