Вивчено та систематизовано механізми структуроутворення конденсатів за умов прояву фазової та просторово розподіленої селективностей, залежних від хімічного складу пар, що осаджуються, і наближення до фазової рівноваги у системі пара - конденсат. Створено новий клас іонних розпилювачів, з застосуванням яких можна наносити покриття на плоскі поверхні та внутрішні поверхні труб за знижених коефіцієнтів конденсації. Визначено закономірності прояву селективних процесів у разі стаціонарного осадження слабкопересичених парів Ti, Cr, Cu і Al у високочастотному інертному середовищі, а також закономірності проявів фазової та просторово розподіленої селективностей за умов стаціонарного осадження металів і вуглецю за допомогою самоузгоджених розпилювальних систем усередині пустотілого катода, що визначає формування різних за "архітектурою" нано- та макроструктур і росту мікрокристалів різних алотропів вуглецю. Установлено закономірності прояву фазової селективності під час формування шарів системи Ti - C.

  Скачати повний текст