1. |
Скакунова О.С. Динамічні ефекти дифузного розсіяння рентгенівських променів в складних гетероструктурах: Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.04.07 / О.С. Скакунова ; Ін-т металофізики ім. Г.В.Курдюмова НАН України. — К., 2005. — 20 с.: рис. — укp.Вперше розроблено теоретичну модель дифракції з урахуванням динамічних ефектів когерентного та дифузного розсіяння в гетерогенних епітаксійних, а також іонно-імплантованих кристалічних структурах. Надана модель самоузгоджено враховує для кожного шару наявність в інтенсивності дифракції динамічної дифузної компоненти, а також екстинкцію когерентної компоненти за рахунок дифузного розсіяння. Вперше враховано особливості динамічної взаємодії між шарами, що зведена до відповідних рекурентних співвідношень між когерентними складовими коефіцієнтів відбиття окремих шарів. В цій моделі враховано інтерференцію когерентних хвиль, що розсіюються різними шарами та підкладкою в багатошарових епітаксійних структурах. У разі врахування амплітуди розсіяння кожним неоднорідним шаром модель передбачає його розбиття на однорідні підшари. Вперше здійснено повну адекватну кількісну пошарову характеризацію вказаних гетероструктур з одержанням нової інформації про характеристики дефектів, ефекти сегрегації та взаємодифузії, а також уточнити хімічний склад, товщини окремих шарів, профілі деформації. Скачати повний текст Індекс рубрикатора НБУВ: В372.134 в641.8,022 + Ж304-1 с38 + Шифр НБУВ: РА339144
Рубрики:
|