1. |
Когут І. Т. Елементи мікросистем на базовому матричному кристалі зі структурою "кремній-на-ізоляторі" : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 / І. Т. Когут; Нац. ун-т "Львів. політехніка". - Л., 2010. - 36 c. - укp.Розроблено сумісні технології формування локальних планарних "кремній-на-ізоляторі" (КНІ) структур методами мікрозони лазерної рекристалізації й оригінальні технологічні підходи формування локальних тривимірних КНІ-структур. Розроблено архітектуру спеціалізованого базового матричного кристала (БМК) зі структурою КНІ для мікросистемних використань. Досліджено можливості використання приладних КНІ-структур для екстремальних умов експлуатації. Розроблено нові тривимірні КНІ елементи для побудови мікросистем, зокрема, контакти та міжз'єднання, ключові елементи на діодах Шоткі, КНІ МОН-транзистори, елементи матриць автоемісійних мікрокатодів зі схемами керування з покращаними характеристиками на основі об'ємного кремнію. Скачати повний текст Індекс рубрикатора НБУВ: З843.3 + З852-03
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА371206 Пошук видання у каталогах НБУВ
|