Для расчета радиального распределения химического состава покрытий карбида титана, осажденных при магнетронном распылении на постоянном токе составных мишеней из Ti и C, была построена математическая модель, учитывающая радиальное распределение скорости распыления составляющих мишени, косинусоидальное угловое распределение направлений движения распыленных атомов, а также меняющийся с выработкой рельеф поверхности титановой составляющей мишени. При этом в распылительной системе использовался постоянный ток, а зона эрозии имела кольцевую симметрию. Изучено влияние геометрических параметров системы на радиальное распределение концентрации составных элементов, определено оптимальное геометрическое соотношение составляющих мишени, необходимое для получения покрытий на базе соединения TiC. Методом дифракции электронов исследовано радиальное распределение фазового состава начального этапа роста покрытий.

Рассмотрены вопросы математического моделирования процессов теплопереноса при формировании аморфных и нанокристаллических газотермических покрытий. Предложена классификация подходов к теоретическим исследованиям тепловых явлений в данной физической ситуации. Проанализированы особенности применяемых математических моделей в контексте отражения в них различных факторов. Выполнен анализ теплового взаимодействия интегральной совокупности напыляемых частиц с учетом статистического подхода.

Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033-18

Рубрики:

Металізація металів розпилюванням (шоопірування)

Шифр НБУВ: Ж70861 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Описано дослідження впливу режимів ВЧ-магнетронного розпилення на морфологію та фізико-механічні властивості плівок боридів ванадію, одержаних на різних підкладках.

In the given article the research of influencing of modes of a HF-magnetron sputtering on morphology and physics-mechanical properties of films of borides of vanadium obtained on different substrates is described

Ключ. слова: мішень, магнетрон, розпилення, тигель, текстура
Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033-18

Рубрики:

Металізація металів розпилюванням (шоопірування)

Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Ключ. слова: Superlattices, AFM, topography, MEMS
Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033-18

Рубрики:

Металізація металів розпилюванням (шоопірування)

Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Ключ. слова: многослойные периодические композиции, межфазные перемешанные зоны, диффузия, структурные превращения, механические напряжения
Індекс рубрикатора НБУВ: К235.120.26 + К663.033-18

Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Ключ. слова: заміщені манганіти, тонкоплівкові зразки, магнітний резонанс, магнітний фазовий склад
Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033-1 + В379.226

Рубрики:

Металізація металів розпилюванням (шоопірування)

Тонкі шари напівпровідників

Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Ключ. слова: композиційний матеріал, високошвидкісне газополум'яне напилення, зносостійкість, корозійна стійкість, покриття, властивості, дисперсна структура
Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033-18

Рубрики:

Металізація металів розпилюванням (шоопірування)

Шифр НБУВ: Ж28502 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033-18 + В372.6 + В377

Рубрики:

Металізація металів розпилюванням (шоопірування)

Тонкі шари твердих тіл

Електричні та магнітні властивості твердих тіл

Шифр НБУВ: Ж14063 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Індекс рубрикатора НБУВ: К390.1-1 + К663.033-1

Рубрики:

Виробництво металевих порошків

Металізація металів розпилюванням (шоопірування)

Шифр НБУВ: Ж14257 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Ключ. слова: пленка, скорость осаждения, аморфная фаза, нанокристаллическая структура, механические свойства
Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033-18 + К663.235-18

Рубрики:

Металізація металів розпилюванням (шоопірування)

Покриття металів тугоплавкими та рідкими металами

Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Досліджено властивості (пористість, твердість, зносостійкість) газотермічних покриттів, отриманих високошвидкісним напиленням. Показано, що високошвидкісний процес напилення покриття гарантує високу щільність (пористість - менше 3 %) і завдяки цьому - добрий опір абразивній ерозії за екстремальних умов: абразивно-ерозійна зносостійкість збільшується в 10 - 12 разів порівняно зі зносом сталі без покриття. Абразивно-ерозійну зносостійкість покриття за малих кутів атаки може забезпечити його максимальна твердість, більш висока, ніж твердість абразиву; за великих кутів атаки бажано забезпечити оптимальне співвідношення твердості та в'язкості. Оптимальною структурою покриття на основі WC - Co є так званий двічі цементований твердий сплав, у якому кобальтова зв'язка включає гранули або частинки WC - Co. Вміст карбідної фази перевищує 50 % за великих кутів атаки та є оптимальним (20 - 30 %) у разі прямих кутів.

Ключ. слова: нітридні плівки, корпускулярне легування, адгезія
Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033-18

Рубрики:

Металізація металів розпилюванням (шоопірування)

Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Проаналізовано структуру, механічну поведінку та нанотвердість хромових і молібденових покриттів, одержаних за допомогою методу магнетронного розпилення. Показано, що ультрадрібнозернисті хромові покриття характеризуються значно вищими значеннями твердості та меншою пластичністю у порівнянні з молібденовими, одержаними за таких же умов і характеризуються ще більш дрібним зерном. Запропоновано механізм, що пояснює винятково високі значення твердості в полікристалічному ультрадрібнодисперсному хромі.

Приведены результаты исследования обрабатываемости резанием ряда износостойких квазиамдорфных газотермических покрытий. На основе использования положений фрактального формализма предложена единая интегральная характеристика обрабатываемости - фрактальная размерность совокупности механических свойств материала, комплексно характеризующая однородность его структуры и разброс свойств по величине. Показана перспективность использования предложенной методики оценки характера распространения теплоты в материале с гетерогенной структурой фрактальным показателем для определения теплофизических характеристик напыленных покрытий.

Ключ. слова: титан, нитрид титана, ультратонкие пленки, ионное распыление, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, РФЭС
Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033-18

Рубрики:

Металізація металів розпилюванням (шоопірування)

Шифр НБУВ: Ж29137 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Рассмотрены результаты экспериментального исследования возможности перевода установки МАП-1 из дугового режима работы в магнетронный. Показано, что покрытия, полученные при помощи исследуемой магнетронной распылительной системы, обладают меньшим количеством дефектов структуры и меньшей шероховатостью поверхности, чем покрытия, нанесенные с помощью дугового метода. На основании приведенных данных сделан вывод о целесообразности перевода установок МАП-1 в магнетронный режим работы.

Наведено результати числових досліджень процесів теплопереносу для умов газотермічного нанесення плакованих композиційних покриттів. Виконано аналіз закономірностей впливу на тепловий стан тришарової системи покриття - підшар - основа одного з технологічних факторів процесу нанесення покриттів - дистанції напилення.

Розглянуто задачу взаємодифузії в системі товста підкладка - зростаюча тонка плівка за залежних від часу граничних умов, які є типовими для основних методів епітаксійного вирощування та напилення тонких плівок. Запропонована модель дає можливість розрахувати концентрацію компонентів, що дифундують зі зростаючої плівки в підкладку та в протилежному напрямку. Досліджено деякі окремі випадки задачі взаємодифузії: зростання трикутної ями CdMnTe на підкладці CdTe, теплова деградація зростаючих надграток тощо.