Проаналізовано використання методів мікромеханіки у ході проектування та розробки мікросистем різного призначення. Наведено систематизовані дані про методи мікромеханіки. Розглянуто особливості мікромеханіки як наукової бази для мікросистем, мехатроніки та мікроробототехніки. Наведено зарубіжні приклади застосування засобів мікромеханіки та мікророботів для розв'язування прикладних та антитерористичних задач.