Індекс рубрикатора НБУВ: К663.030.022-18

Рубрики:

Металізація металів у вакуумі

Шифр НБУВ: Ж16166 Пошук видання у каталогах НБУВ 

На підставі комплексних експериментальних досліджень виявлено додаткові механізми впливу атомарного гідрогену на структуру й електрофізичні властивості тонких металевих плівок (Ni, Cu, Ag) і структур на їх основі. З'ясовано, що такими процесами є рекристалізація плівок та їх ущільнення, які обумовлють на плівках з товщиною більше критичної зростання та зрощення зерен, а в кінцевому результаті - збільшення електропровідності. Встановлено закономірності перебігу процесів взаємодії атомарного гідрогену з тонкими плівками та структурами на їх основі. За критерієм впливу на електропровідність тонких плівок виконано розподіл механізмів впливу атомарного гідрогену на домінуючі в окремі проміжки часу. Виявлено, що кінетика процесів, обумовлених дією атомарного гідрогену, залежить від його концентрації, тиску у камері, матеріалу плівки, властивостей вихідної плівки, теплоємності та теплопровідності підкладинки. Встановлено, що під дією процесів, ініційованих атомарним гідрогеном, відбувається зміна тензометричного коефіцієнта плівок, збільшення їх щільності й адгезії до підкладинок. Досліджено вплив технології обробки на властивості кремнієвих підкладинок, що входять до складу структур на основі тонких металевих плівок. Виявлено залежність ефекту впливу атомарного водню на поверхневий потенціал від властивостей поверхні Si, зокрема, орієнтації та товщини оксиду.

Наведено результати теоретичного й експериментального дослідження дії атомарного водню на параметри тонкоплівкових структур. Висвітлено проблеми розвитку технології радикалорекомбінаційної обробки поверхні твердого тіла. Розглянуто фізичні основи методів плазмохімічної, плазмоворадикальної та водневої обробки поверхні твердого тіла. Описано електричні, фізичні, електрофізичні методи дослідження параметрів плівкових мікроструктур. Охарактеризовано фізичні процеси, що проходять під час взаємодії атомарного водню з поверхнею твердого тіла, зокрема, розпилення, стимулювання дифузійних процесів в приповерхневих шарах, дефектоутворення і модифікації поверхні, зміни структури металевих плівок. Наведено результати експериментального дослідження взаємодії атомарного водню з гетероструктурами на основі тонких плівок Cu, Ni, Ag, Au, In.

Індекс рубрикатора НБУВ: З843.395

Рубрики:

Тонкі плівки

Шифр НБУВ: Ж16683 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Представлены результаты экспериментального исследования действия атомарного водорода на гетероструктуры на основе Si и Ge. Показано, что обработка сопровождается изменениями вида ВАХ. Доминирующими процессами являются хемосорбция водорода на поверхности, модификация гетерограницы и диффузия атомов пленки в приповерхностные слои полупроводника.

Індекс рубрикатора НБУВ: К663.03-1

Рубрики:

Металізація (гарячі способи покриття металів)

Шифр НБУВ: Ж72631 Пошук видання у каталогах НБУВ 

У межах двох версій методу функціонала густини (градієнтного розкладу та системи самоузгоджених рівнянь Кона - Шема) в моделі стабільного желе для граней кристалів Al, Cu і Zn із діелектричним покриттям розраховано роботу виходу позитронів. Розрахунки показують, що наявність діелектричного покриття на поверхні металу може спричинити зміну знака роботи виходу. Результати суттєво залежать від ступеня самоузгодження розрахункової схеми задачі.

Досліджено оптичні властивості системи металевих наночастинок у діелектричній матриці. Для оцінки квантових ефектів використано аналітичний вираз для діелектричної функції металевої частинки-паралелепіпеда. Розраховано коефіцієнт поглинання для композитів з частинками різних металів у різних матрицях і проведено порівняння з наявними експериментальними даними.

Мета роботи - розробка динамічної макромоделі крокового двигуна (КД) для задач дослідження систем позиціювання та інших робототехнічних мехатронних систем в програмах автоматизованого проектування для електроніки (ЕCAD), яка відповідає критеріям економічності та надійності. Моделінг КД здійснено на базі поведінкових елементів з бібліотеки ЕCAD, модель системи позиціювання отримано в термінах теорії автоматичного управління у вигляді сполучення ланок, передаточні функції для яких отримані як функції часу. Для ефективного моделювання (симуляції) подібних САУ на основі акаузального по суті математичного апарату ЕCAD, моделям надано ознаки каузальності за допомогою залежних джерел, керованих напругою. Об'єктом дослідження є процес моделювання автоматизованих систем із КД в якості актуаторів в середовищі ЕCAD, предметом дослідження є моделі КД. На основі аналізу областей адекватності та математичного апарату існуючих моделей КД, сформовані критерії для розробки економічної моделі, придатної для адекватного макромоделювання САУ із КД в середовищі ЕCAD. Розроблено мінімальну модель КД, яку досліджено для встановленого режиму в навантаженому стані. В ході апробації та верифікації шляхом моделювання підсистеми позиціювання автоматизованої системи визначення поверхневого потенціалу, встановлено, що модель забезпечує високу швидкість та алгоритмічну надійність симуляції при високій точності результатів аналізу динамічних характеристик. Макромодель інстальовано в бібліотеку програми Micro Cap 11. Нова макромодель КД, яка відповідає критеріям адекватності, надійності та економічності, синтезована на основі нового підходу у моделінгу об'єктів на макрорівні, який поєднує принципи побудови структур та ланок САУ згідно теорії автоматичного управління (ТАУ) із можливостями поведінкового моделювання в середовищі програм автоматизованого проектування в електроніці (ЕCAD). Передаточні функції для таких моделей будуються як функції часу, без переходу в комплексну площину, що дозволяє розширити область їх адекватності, порівняно із класичними моделями. Такі макромоделі дозволяють досліджувати динамічні режими в автоматизованих системах позиціювання. Макромодель КД розширює математичне забезпечення ЕCAD, знижує імовірність появи алгоритмічних збоїв та прискорює моделювання САУ в ЕCAD. Використаний при її синтезі підхід дозволяє будувати аналогічні моделі для іншого програмного забезпечення (CAS, CAE).