Індекс рубрикатора НБУВ: В371.236 + В379.22 + З861-03

Рубрики:

Структура напівпровідників

Оптоелектроніка

Шифр НБУВ: Ж72631 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Індекс рубрикатора НБУВ: В379.2

Рубрики:

Фізика напівпровідників

Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ 

С помощью растровой электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа, измерения адгезионной прочности, коэффициента трения и скорости износа материала изучены свойства покрытий нержавеющая сталь - TiN (нс - TiN). В зависимости от потенциала сдвига, подающегося на подкладку, давления в камере и включения ВЧ-разряда показано, что совокупность разных параметров, регистрируемых в процессе царапания, позволяет различать пороговые значения критической нагрузки, связанные с разными типами когезионного и адгезионного разрушения покрытий при трибологических испытаниях. Были определены размеры нанозерен нс - TiN, стехиометрия покрытий, фазовый и элементный составы, морфология поверхности покрытий на основе Ti(C, N) и (Ti, Al)N. Твердые покрытия TiN, Ti(C, N) и (Ti, Al)N осаждали на подложку из нержавеющей стали методом катодно-дугового испарения. Химический и фазовый составы поверхности и текстуру покрытий определили методом упругих столкновений (ERDA) с помощью энергодисперсионного рентгеновского анализа, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и рентгеновской дифракции. Исследовали влияние на характеристики пленки основных параметров нанесения, а именно, давления реактивного газа, тока дуги и потенциала смещения подложки. Морфология поверхности изучена с помощью атомно-силовой и сканирующей электронной микроскопии. Для определения модуля упругости и нанотвердости использован наноиндентор.

Представлены результаты комплексных исследований наноструктурных покрытий из TiN и MoN, а также многослойных покрытий, состоящих из чередующихся слоев TiN/MoN. Покрытия были получены при помощи перспективного современного метода катодного дугового испарения (метод Vacuum-arc). Проведено сравнение элементного и фазового состава покрытий, их трибологических и физико-механических свойств: коэффициента трения, износа, адгезии, твердости, модуля упругости. Рассмотрены механизмы разрушения покрытий.

Приведены результаты исследования по транспортировке протонных пучков с энергией 150 - 255 кэВ через микро- и нанокапиллярные структуры. Получены зависимости коэффициентов пропускания протонного пучка коническими стеклянными (боросиликатными) капиллярами с диаметрами выходных отверстий 5 и 10 мкм. Показано, что при прохождении пучка через конические капилляры имеют место фокусировка и guiding-эффект. Изучено влияние структуры нанопористого оксида алюминия на коэффициент пропускания и угловые характеристики прошедшего ионного пучка.