Розроблено спосіб зниження шаруватої неоднорідності легуючої домішки телуру в монокристалах InSb, вирощених методом Чохральського. Рішення даної задачі здійснено за допомогою впливу ультразвуку на розплав у процесі витягування монокристала. Частота ультразвуку встановилась від 0,6 до 5,0 МГц. З'ясовано, що ультразвуковий вплив призводить до зниження шаруватості телуру, обумовленої ефектом "грані". Запропоновано механізм впливу ультразвуку на шаруватість у даній області кристала завдяки утворенню стоячої звукової хвилі у розплаві. Дослідження конвекції у модельній рідині показало, що в її обсязі між хвилеводом і диском формується стояча звукова хвиля. Доведено, що частки концентруються у полі стоячої хвилі у площинах, відстань між якими відповідає половині довжини ультразвукової хвилі у воді.

  Скачати повний текст