Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>A=Boguslavsky D$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
1. |
Boguslavsky D. New Method and Tool for TEM Samples Preparation [Електронний ресурс] / D. Boguslavsky, V. Cherepin, Y. Polubotko, C. Smith // Металлофизика и новейшие технологии. - 2013. - Т. 35, № 2. - С. 163-173. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/MPhNT_2013_35_2_4 Представлено нову методику і технологію виготовлення зразків для ПЕМ, яка уможливлює підготувати зразок завтовшки до 20 нм, оточений об'ємним матеріалом і втілений у нього. Головна перевага системи полягає в малій товщині шару пошкоджень, спричинених іонним обробленням (менше 2 нм), в малому часі оброблення (1 - 2 години), в моніторингу зразка під час іонного фрезерування (топографія і товщина зразка) і у великій площі, що обробляється (5 - 30 мкм вздовж області, яка являє інтерес). Виконано порівняння декількох типів робочої речовини для іонних джерел, наведено схеми або креслення ключових вузлів пристрою.
|
|
|