Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000146099<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Сукач Г. О. Фізико-математичне моделювання процесів нітридизації галієвих сполук <$E bold roman {A sup 3 B sup 5}> в радикалах азоту / Г. О. Сукач, В. В. Кідалов, Є. П. Потапенко // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2004. - Вып. 39. - С. 172-180. - Бібліогр.: 10 назв. - укp.Наведено експериментальні дослідження тонких плівок GaN, одержаних шляхом обробки монокристалічних підкладок GaAs в активних радикалах азоту. Виконано вимірювання профілограм розподілу миш'яку та азоту за товщиною гетероструктури GaN/GaAs. Проведено аналітико-числове моделювання процесів росту тонких плівок GaN на підкладках GaAs та профілів розподілу атомів основних хімічних елементів, що входять до складу епітаксійної плівки GaN та монокристалічної підкладки GaAs. На основі аналітичних і числових розрахунків проаналізовано та уточнено фізико-математичні моделі росту тонких плівок GaN при обробці монокристалічних підкладок GaAs в активних радикалах азоту. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.251.4в641.8 + К235.270.26
Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|